至纯科技(603690)12寸单片设备不断突破，晶圆再生项目量产。1)目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。公司在更先进的14nm—7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。湿法设备的研发仍在持续投入中，湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。2)公司重资投入的晶圆再生业务系自身在湿法工艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整合，又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。

预计公司2021-2023年的净利润分别为3.39、4.09、4.92 亿元，EPS分别为1.07、1.28、1.55元，当前股价对应 PE 为 50、42、34倍。考虑集成电路行业处于高景气周期，公司设备研发不断取得技术突破，订单高增长，我们将其评级由“中性”上调“增持”投资评级。

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